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G. Triebig, M. Kentner, R. Schiele Arbeitsmedizin Handbuch für Theorie und Praxis 3. vollständig neubearbeitete Auflage 2011 mehr
Ätztechniken
Ätztechniken verwendet man zur kontrollierten Materialabtragung von einer Festkörperoberfläche. Mittels Schutzschichten (Lacke, ➙ Metalle), die resistent gegen den Angriff des Ätzmediums sind, werden mikrotechnische Strukturen erzeugt. Die durch die Schutzschicht abgedeckten Stellen sind nach dem Ätzangriff erhaben gegenüber den abgetragenen Festkörperoberflächen. Der Ätzabtrag kann dabei durch nasschemische oder trockenchemische Ätzprozesse erfolgen. Ätzverfahren haben gegenüber mechanischen Verfahren eine Reihe von technologischen Vorteilen: Es entstehen weder Spanreste noch Randwulste. Ätztechniken finden bei extrem hochauflösenden Anforderungen ihre Anwendungen. Es sind Strukturen von wenigen Nanometern industriell herstellbar (Herstellung von elektronischen Speichermedien). Außerdem lässt sich eine hochpräzise Formgebung bei unterschiedlichsten Materialien erreichen.
Dieser Eintrag ist ein Auszug aus dem Medizinischen Lexikon der beruflichen Belastungen und Gefährdungen, K. Landau - G. Pressel (Hrsg.), 2., vollständig neubearbeitete Auflage 2009. Das Lexikon können Sie in unserem Bookshop erwerben.
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